真空箱体内的压力是逐渐减低的，而工作中的机器的温度是逐渐升高，在低大气压的情况下，液体的沸点是降低的，那么润滑油中的饱和蒸气压高的分子成分就可能会蒸发到真空泵体中，污染真空系统，而且会影响真空箱体达到它的极限真空状态。箱体内的高温还会使不稳定的油品引起胶体粘附于摩擦面，使润滑油受热变质。因此，高品质的润滑产品的选择能避免此类问题，ODSi高真空润滑剂已符合这些要求;它具有优异的低挥发，耐高真空，在高温环境下也具有极好的低挥发性、密封性和润滑性，专为高真空无尘室设计的油脂。
采用特殊氟化学混合物，耐真空度强，低挥发性，润滑性能好，适用于高真空无尘室、航天器、半导体制造设备、低蒸气压真空环境内直线导轨的润滑
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